MEMS微型振動式發電機的研制
全部作者： 唐彬 溫志渝 溫中泉 何渝 第1作者單位： 重慶大學光電工程學院微系統研究中心 論文摘要： 機械能是環境里最為廣泛的能源之1，振動式發電機通過拾振裝置將外部的振動機械能轉換成電能，可以應用于各中存在微振動的環境中。本文研究了MEMS微型振動式發電機的制作過程。對核心材料駐極體進行了實驗研究；對靜電式微型振動式發電機進行封裝實驗，；對封裝好的發電機進行了測試；分析總結了在發電機制備過程中出現的問題，進1步改進和完善了微型發電機系統，輸出電壓達115mV。 關鍵詞： MEMS 發電機 駐極體 封裝 測試 (瀏覽全文) 發表日期： 2008年04月21日 同行評議：
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